在惰性等离子体如氩气（Ar）、氮气（N2）、氟化氮（NF3）、四氟化碳（CF4）、空气、氧气（O2）、氢气（H2）等气态等离子体中，安徽等离子处理仪厂家哪家好清洗过程中不同的反应机理气体种类不同，活性等离子体对化学反应的影响较大。由于气体的性质不同，用于清洗的污染物也必须有不同的选择。当一种气体渗透
