预电离低温等离子体结构简单,不需要用吸尘器吸尘、可在室温下清洗,由此产生的激发态的氧原子比——氧原子更活跃,可以受污染的润滑油和硬脂酸烃氧化、二氧化碳和水。低温等离子体同时喷射还具有(机器)机械的冲击力，二氧化硅表面改性检测起到了刷的作用，使玻璃表面的污染物迅速排出玻璃台板表面，达到高效清洗的目的。
