根据光谱结果可以推断C-H裂解直接发生在CH4等离子体中，吉林大气等离子表面活化改性处理CH活性物种是主要的中间物种。系统温度发射光谱诊断；在大气压等离子体中，由于探针等诊断技术对等离子体的干扰，很难测量等离子体的电子温度。而等离子体清洗系统的大气压等离子体系统温度可以通过研究气体分子的旋转温度来实
