在等离子体清洗过程中，刻蚀玻璃反应方程式等离子体不仅产生等离子体化学反应，而且与数据表面产生物理反应。等离子体粒子敲打掉数据表面的原子或附着在数据表面的原子，有利于清洗刻蚀反应。数据和技术的发展,完成埋盲孔结构将更小、更精炼;电镀盲孔时,它将越来越难以使用传统化学夹渣的清除方法,但等离子体处理的清洗
