与烧灼相比，刻蚀机是什么等离子处理设备不会损坏样品，同时它可以非常均匀地处理整个表面而不会产生有毒气体，即使是带有盲孔或缝隙的样品。 3、表面刻蚀 在等离子刻蚀过程中，被刻蚀材料由于被处理体的作用而蒸发（例如，用氟气刻蚀硅时）。基板的溶剂和汽化材料由真空泵抽出，表面总是覆盖着新鲜的溶剂。不需要蚀刻的
