2. 介质阻挡放电法 介质阻挡放电是产生非平衡等离子体的理想方法，介质等离子体刻蚀是较早应用的放电方法之一。这种类型的放电反应器结构使用电解质层来分隔两个电极。介质可以用电极覆盖或放置在电极之间。当在两个电极之间施加足够高的交流电压时，空气会打开电极间隙中的间隙，从而导致故障和放电。放电形成大量精细
