等离子体产生的氧自由基具有很强的反应性，二氧化硅亲水性辅料很容易与碳氢化合物反应生成二氧化碳、一氧化碳和水等挥发物，从而去除表面污染物。...基于物理反应的等离子清洗，也称为溅射刻蚀（SPE）或离子铣削（IM），其优点是不发生化学反应，清洗表面无氧化物残留，可保留待清洗物体。化学纯度和等离子清洗是表
