随着MEMS的发展，疏水滤芯和亲水性滤芯机构的规模越来越小，固液界面中的摩擦力越来越大。微通道流动等摩擦阻力成为相关器件发展的重要制约因素。因此，最小化表面摩擦阻力是提高速度、节约能源的主要途径。近年来，等离子体表面处理器对超疏水涂层的减阻研究越来越受到研究者的重视。例如，研究发现，采用超疏水硅表面
