电晕清洁器电晕增强金属有机化学气相沉积系统可在低温下产生低能量离子和高电离度、高浓度、高活化、高纯氢电晕，薄膜电晕处理机cad图使低温去除C或OH-等杂质成为可能。从湿法清洗和电晕电晕处理后的RHEED图像中，我们发现湿法处理后的SiC表面呈点状，表明湿法处理后的SiC表面不均匀，有局部突起。电晕处
