-低温等离子体发生器广泛应用于手机涂层和新材料制造:-低温等离子体发生器除了机械设备制造的作用外，中框等离子体刻蚀机主要是氧自由基的化学作用，等离子体搅动Ar *，使氧激发出高能电子撞击氧分解，构成核心激发的氧原子污染润滑油和硬脂酸等烃类，由氧自由基氧化这些烃类生成CO2和H2O，并从玻璃表面去除油
