它附着在基板表面，rie反应离子刻蚀硅工艺参数在这种情况下是 APS（An1inopropyl triethox-ysi-lane）等离子体，并通过戊二酰。酸性醛（An1inopropyl triethoxy-ysi-lane）的作用使酶分离物（例如蛋白质或胰蛋白酶）化学连接到基材表面。这种方法可以
