目前广泛使用的碱性和酸性双氧水清洗液可以去除硅片表面污染的大部分金属离子和含碳基团,pet膜电晕处理形成一层几乎不含碳的薄氧化层,对减少大气和系统中含碳基团对硅表面的污染起到非常重要的作用。。低温电晕电源处理PEGDA/HEMA水凝胶的老化及亲水性研究;电晕技术是一种表面处理技术,可以在短时间内改变