PDMS-PMMA复合芯片制造过程中最重要的问题是芯片各种原材料的密封，等离子清洗pdms亲水性即接合工艺，是生物芯片技术的重要研究方向之一。目前，PDMS-PMMA复合芯片键合技术主要包括胶粘剂、等离子刻蚀机技术、UV臭氧光改性方法等。等离子技术相比其他连接方式，不仅在原材料表面引入基团，而且在一
