经计算，fpc软板等离子去胶机器介质阻挡放电在大气中的电子激发温度约为0.67 eV。接下来，我们研究了诸如放电功率、沉积时间、气体流量比、衬底异常、压力、后处理以及其他阻碍大气介电放电等离子体化学气相沉积膜的因素。它影响沉积速率、表面形态、化学成分、化学结构和结晶度等性能。随着放电功率的增加，膜的
