因此，fpc软板plasma蚀刻设备一般来说，大的蒸气体很容易达到平衡。在低压下，碰撞是罕见的，电子设备从电场获得的能量不容易转移到重粒子。在这一点上，电子学的温度都高于蒸气温度，常被称为等离子体刻蚀冷等离子体或非平衡等离子体。两种等离子体都有自己的特点和用途(参见工业等离子体)。蒸汽自放电分为直流
