。一般来说工业生产中所使用的真空等离子清洗机常常会使用容性耦合（CapcitvielyCoupledPlasma，astm的附着力标准CCP）射频放电来产生等离子体，其放电结构如图1-1所示，由两部分组成：放电腔室和两块金属电极，一块极板需要牢固的接地，另一块极板经匹配器连接到等离子体源上，这就组成
