氧化物在引线键合段中是最不受欢迎的，PFC等离子体蚀刻机通过适当的工艺参数可以避免这些缺点中的一些。 2、物理反应等离子清洗利用等离子中的离子进行纯物理冲击，去除附着在材料表面的原子。这也称为溅射腐蚀 (SPE)。氩气用于清洁并以足够的能量星攻击设备表面以去除污垢。聚合物的聚合物化学键分离如下：小分
