控制侧壁轮廓的一般方法是加入聚合物蚀刻气体，PFCplasma刻蚀通过多步蚀刻来控制整体形状。主要采用氩气和氯气通过添加聚合物蚀刻气体或改变偏压来控制图形形貌，分别得到了不同侧壁形貌的图形。其中，CH3F和氯对形貌的控制非常有效。偏压和流量的调节对底部形状控制起着至关重要的作用。通过这些方法可以完成
