吸附剂吸附在固体表面后，CCP等离子去胶设备部分被吸附的吸附剂可以从目前附着的吸附剂表面分离出来。由于被吸附物质集中在表面，如果吸附一定时间，吸附能力会明显降低，需要进行吸附净化。吸附能力强，这个过程称为吸附剂再生。因此，在实际的吸附工程中，去除废气中的污染物，回收废气中的有用成分就是吸附-再生-再
