2. 电容耦合等离子体(CCP)等离子体是一种分离的中性气体,CCPplasma活化机在这种气体中,自由电子与中性分子和原子碰撞,使它们电离,产生更多的电子和离子。根据电子的能量,它可以获得更丰富的离子,激发高能中性粒子等,再加上负离子,由于电子被吸附在中性气体的表面,可以得到负离子。APP功能强大