由于CH3-CH3键的结合能为3.8EV，软板等离子体蚀刻机器CH3CH2-H键的结合能为4.2EV（等离子体中电子的平均能量为6EV），C2H6分子在等离子体的作用下解离。从上述过程可以看出，软板等离子体蚀刻机电子从电场中获取能量，获得能量的分子和原子被激发，能量通过激发和电离传递给分子和原子，部
