超声波清洗对被清洗表面的影响最大，氩气plasma清洁机因此在实际半导体生产应用中，经常使用射频和微波清洗方法。超声波清洗对去除表面胶水和毛刺的效果最好。典型的物理化学清洗方法是在反应室中加入氩气作为辅助处理。因为氩本身是惰性气体，它不与表面发生反应，而是通过离子轰击清洁表面。典型的等离子体化学清洗
