等离子清洗机工艺简单，亲水性材料使用方法操作方便，无废弃物处理，对环境无污染。但是，它不能去除碳、其他非挥发性金属材料或金属氧化物残留物。等离子体清洗是光刻胶去除过程中常用的方法。在强电场作用下，向等离子体反应体系中引入少量氧气，产生等离子体，光刻胶迅速氧化为挥发性气态物质。这种清洗工艺具有操作简单
