广东芳如达科技有限公司 2023-03-28 16:04:58 112 阅读
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当产生的电子在电场中加速时,可以获得高能量,与周围的分子或原子发生碰撞,使分子和原子再次被电子激发,处于激发态或离子态。此时物质的存在状态是等离子体状态。等离子体中除了气体分子、离子和电子外,还有电中性原子或原子团,它们受到等离子体发出的能量(也叫自由基)和光的激发,其中波的长度和能量对等离子体与材料表面相互作用起着重要作用。在等离子体清洗过程中,氮气被用作非活性气体,主要是作为非反应性气体。
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等离子设备中原子的能级图是由原子内部所有粒子共同决定的,没有受到干扰的原子和分子一般处于稳定的基态能级,但是我们所感兴趣的只是原子外层的电子,即价电子的能量,因为气体放电过程主要是由这些电子参与的。当价电子从外层得到额外的能量时,它会跃升到原子处于激发态的高能级。一个电子在激发能级(大约10-8s)上停留的时间很短,随后会跃迁回基态或另一个较低的激发能级,并以光子的形式辐射出激发能而获得额外的能量。
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