广东芳如达科技有限公司 2023-04-10 10:46:50 79 阅读
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等离子清洗的技术原理如下:1、在密闭的真空腔体中,通过真空泵不断抽气,使得压力值逐渐变小,真空度不断提高,分子间的间距被拉大,分子间作用力越来越小,利用等离子发生器产生的高压交变电场将Ar、H2、N2、O2、CF4等工艺气体激发、震荡形成具有高反应活性或高能量的等离子体,进而与有机污染物及微颗粒污染物反应或碰撞形成挥发性物质,由工作气体流及真空泵将这些挥发性物质清除出去,从而达到表面清洁、活化、刻蚀等目的。
2.等离子清洗原理: 等离子体是物质的一种存在状态,通常物质以固态、液态、气态三种状态存在,但在一些特殊的情况下有第四中状态存在,如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质:处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等,但物质在总体上仍保持电中性状态。
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等离子清洗属于干法清洗中常见的一种形式,广东等离子体除胶机价格其原理是将暴露在电子区域的气体形成等离子体所产生的电离气体和释放高能电子组成的气体,从而形成了等离子或离子,电离气体原子通过电场加速时,会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或刻蚀表面。某种程度来讲,等离子清洗实质上是等离子体清洗的一种较轻微的情况。气体被导入并与等离子体进行交换。等离子在工件表面发生反应,反应的挥发性副产物被排出。
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发布日期:2023-04-10 10:46:50