加热托盘，uv底漆附着力促进剂无论正负，将产品放入产品后，启动加热，设定温度后停止加热;立即启动等离子清洗过程;根据处理(效果)效果调整温度和工艺参数，进行多次实验，得到合适的加热温度及工艺参数。 腔体侧壁条件、宏观蚀刻不均匀、蚀刻和聚合物沉积、微蚀刻不均匀、垂直和横向蚀刻、图案侧壁保护、临界尺寸
