低温大气射频辉光等离子系统的应用领域FPD 方面LCD, LTPS, OLED等各种基板玻璃表面清洗和连接前工艺的设备，TPU底材附着力促进剂不需要真空排气。采用均匀大气压等离子，以大气压等离子的问题点Stremer或者Arc的产生为准则阻断，基板上无损坏的表面清洗工艺。另外多元电极和原有大气压等离
