反应机理主要是利用等离子体中的自由基与材料表面发生化学反应，sio2的亲水性压力高时有利于自由基的产生，压力开始反应。 (2) PHYSICAL REACTION 主要是利用等离子体中的离子进行纯物理撞击，离子的平均自由基是材料表面的原子或附着在材料表面的原子被敲除。压力越低，冲击越轻，因此离子能量
