物理等离子清洗工艺模式使用的腔体内压力相对较低。物理等离子清洗工艺需要激发离子与工件表面碰撞。如果腔室压力过高，pu面漆附着力不好被激发的离子在到达清洗表面之前会与其他离子多次碰撞，降低清洗效果。激发离子在碰撞前经过的距离称为离子的平均自由程，与腔室压力成反比。物理等离子清洗过程需要低压以最大化平均
