近年来研究发现,汽车密封条plasma表面清洗设备非晶态Si:C:0:H材料的光致发光(PL)可覆盖350~800nm的光谱范围,因此成为一种很有前途的白光发射候选材料。为此,汽车密封条plasma表面清洗设备必须在等离子体处理后立即进行键合,等离子体清洗器放气后样品不应留在等离子体中在腔室中,玻璃