其主要特征是：粒子间存在长程库伦相互作用；等离子体的运动与电磁场的运动紧密相耦合；存在极其丰富的集体效应和集体运动模式。等离子体可分为热力学平衡等离子体和非热力学平衡等离子体。当电子温度 Te和离子温度 Ti及中性粒子温度 Tg相等时，青海低温真空等离子表面处理机定制等离子体处于热力平衡状态，称之为
