如果能用真空泵将真空室拉出，附着力的计算公式灵活控制真空电机的转速，就可以很容易地将真空室的真空度控制在设定的范围内。等离子真空泵电机转速可根据计算自行调节，使电机转速保持在设定的真空转速范围内；若腔室真空度小于设定值，腔室真空度为其他。由于系数、实际真空度和设定的真空度之间存在偏差，程序会自行计算
