等离子体粒子将原子敲离或附着在材料表面，附着力和驱动力的关系有利于清洁蚀刻反应。随着材料和技术的发展，实现埋盲孔的结构将会越来越小、越来越精细;在填补盲孔方面，采用传统的化学脱胶渣法进行镀盲孔将会越来越困难，而等离子体加工清洗法可以有效的去除湿法除胶残留的缺点，可以达到盲孔和小孔较好的清洗效果，从而
