N-H键键能较小（391KJ/mol），附着力促进剂TAA因此在等离子体中NH3很容易解离，形成大量活性的H自由基及NH自由基。由于该气体含有N和H两种元素，具有N2不具备的特殊性能。NH3反应性气体的低温等离子体由于含有N、N+、N、Nm(亚稳态)、N*、N2*等活性离子，它们可与材料表面形成自由
