对于III-V化合物,连云港等离子喷涂哪家正规IMEC(微电子研究中心,成员包括Intel公司、IBM公司、台积电公司、三星公司等半导体业界巨头)很早以前已经宣布成功在等离子体蚀刻300mm(22nm)晶圆上整合磷化锢和砷化锢家,开发出 FinFET化合物半导体。为了防止电池的安全事故,连云港等离子