五、远程等离子清洗机的清洗避免使用三氯乙烷等ODS有害溶剂，远程等离子体清洗MKS远程等离子体源这样清洗后就不会产生有害污染物，所以这种清洗方法属于环保的绿色清洗方法。在全球高度关注环境保护的背景下，这一点变得越来越重要;特殊的电极和托盘结构，可以充分利用真空室的内部空间，最大限度地提高处理效率，确
（远程等离子体清洗MKS远程等离子体源）.jpg)