破空气体部分是在CDA控制气路基础上增加一支大口径的真空电磁阀，达因值测试液配置在工艺运行结束后为真空腔体提供破真空气体输入服务。因为破真空气体通常为高洁净气体，所以部分破真空气路中没有安装过滤器。 工艺气体通常为高洁净气体，过滤器通常也是选装组件。工艺气体控制部分主要包括调压阀、过滤器、带报警输
