后刻蚀方法有多种，介质刻蚀机原理与工艺,讲师:周娜如先刻蚀通孔，再刻蚀通孔，同时刻蚀通孔等。然而，蚀刻后的晶圆往往会有静电残留，静电去除的好坏直接影响沟道和通孔的质量。常压等离子体清洗机等离子介质刻蚀后的后期清洗过程中，业界常用的一种方法是使用水溶性多元有机混合物。后期等离子刻蚀的污染与清洗技术，在
