功率一般在1～2kW，对cpp薄膜附着力的助剂大的可以5kW，小的几百W，是用得多的等离子体电源；还有一款40kHz的中频电源，这款电源和射频电源正好相反，等离子体密度没有那么高，但是强度凶猛，能量高，高度也高，功率也很大。大功率可达几十千瓦，即使从理论上看，去除胶渣和蚀刻常用几百千瓦。如果真空等离
