系统标准配件设备尺寸1105W*14880D*1842HMM(信号灯高度2158MM)水平板8层电极板403W*450DMM气体流量控制器,色带附着力验证2路工艺气体0-300ML/MIN真空测量日本ULVAV真空计人机界面触摸屏幕自主研发电极方向距离48MM信号指示器3色带报警真空泵90M3/H双