一些非聚合物无机气体（Ar2、N2、H2、O2 等）在高低频下被激发，舟山等离子真空清洗机原理产生各种含有离子、激发分子、自由基等的活性粒子。通常，在等离子清洗中，活性气体如下。它可以分为两类。一种是惰性气体（Ar2、N2 等）的等离子体，另一种是反应气体（O2、H2 等）的等离子体。这些活性粒子可
