这种官能团可以将完全惰性的基材如聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯和聚四氟乙烯转化为功能性基材。这提高了表面极性、渗透性、粘附性、反应性，聚四氟乙烯等离子体清洗机并大大提高了使用价值。氟化气体可以与氧等离子体相反，经过低温等离子体处理后，氟化物可以在基材表面引入氟原子，使其与基材粘合。冷等离子器具在清洁表面氧
