这是因为增加压力会增加碰撞，蚀刻设备工程师累吗降低等离子体消光的可能性，降低等离子体能量，从而减慢蚀刻速率。一般来说，射频功率越高，蚀刻速率越快，因为等离子体离解速率越高。这些蚀刻方法比较常见，研究比较深入，报道较多。相比之下，铟镓砷在鳍式场效应晶体管的制造中已有报道，但相关蚀刻的细节尚未披露。从使
