等离子清洗机，线缆plasma清洁机蚀刻表面改性等离子体清洗机预处理晶圆表面增加亲水分子团簇，提高表面能，促进粘附采用等离子清洗器对微流控PDMS芯片进行键合。采用等离子洗片改变了玻璃和PDMS的表面性质。等离子体清洗工艺改变了玻璃和PDMS芯片的表面化学，并允许带有微通道的PDMS与其他衬底如（P
