RF 功率设置主要是为了与洗涤时间保持动态平衡。增加射频功率可以适当减少处理时间，海州大气等离子表面活化改性处理但反应室内温度会略有上升，所以这两个必须考虑。清洁时间和射频功率工艺参数。等离子清洗对芯片键合前清洗效果的影响等离子清洗后，测试工作芯片的接触角。测试结果表明，未经等离子清洗的工件样品的接
