快速运动的电子；活化的中性原子、分子和原子团（自由基）；电离的原子和分子；分子解离反应过程中产生的紫外线；未反应的分子、原子等，等离子体处理硅片但一般而言，电中性点仍然受到保护。真空等离子清洗装置 3．等离子清洗原理介绍 3．1．清洁金属表面金属表面通常含有有机物质，如油脂和油渍以及氧化层。在涂层之
