由于活性等离子体对被清洗物表面具有物理冲击和化学反应的双重作用，等离子体原理使被清洗物表面材料变成颗粒和气态物质，通过真空排出达到目的。打扫。等离子等离子清洗机的清洗过程，原则上可以分为两个过程。过程一：去除有机物首先利用等离子体原理激活气体分子，然后O、O3与有机物发生反应。达到去除有机物的目的。
