2、石英玻璃等离子体化学气相沉积法生产石英玻璃等离子体化学气相沉积法是一种以高频等离子体为热源，等离子体化学气相沉积采用化学气相沉积法合成高纯度石英玻璃的实验装置。对液滴生长和凝结的动力学分析表明，等离子体增强化学气相沉积过程中的颗粒沉积过程分为三个阶段：化学反应、成核和粘附沉积。合成的石英玻璃具有
