目的是去除和除湿并检查是否漏气。听漏气声，离子束刻蚀机采用技术,性能指标拉动真空室门，看是否密封。确保压力表达到约-100KPA。 B.将托盘中承载的产品放入反应室。 C。轻轻按下反应室门，按下面板上的绿色启动开关，启动真空泵。 D、压力表的真空值约为-101KPA。如果观察到离子辉光放电现象，则处
