由于方向性差，真空在线等离子体清洗机等离子体可以深入到物体的孔洞和凹痕中完成清洗操作，无需考虑被清洗物体的形状。 E、等离子设备的选择性清洗效率可大大提高。整个清洗过程可在几分钟内完成，清洗效率高。 F、等离子清洗机需要限制的真空度在100Pa范围内，这个清洗系数很容易达到。反之，真空在线等离子体清
